氦質(zhì)譜檢漏儀是否有精度級別一說？
2021.11.10
所謂的精度終指向的是--測試氦分壓 （微觀為個數(shù)，宏觀則表現(xiàn)為在容器壁上的壓力）（空氣中5ppm氦氣）
（1）吸槍質(zhì)譜檢漏，假定流量為300 sccm， 則檢漏儀的真實本底為 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行業(yè)中吸槍式都標準在常壓情況下能測到E-7，是因為加入了軟件濾波（抑零）等。
（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（輔助泵有則加上）*腔體內(nèi)氦濃度*入口處壓力，有很多外部條件。
（1）吸槍質(zhì)譜檢漏，假定流量為300 sccm， 則檢漏儀的真實本底為 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行業(yè)中吸槍式都標準在常壓情況下能測到E-7，是因為加入了軟件濾波（抑零）等。
（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（輔助泵有則加上）*腔體內(nèi)氦濃度*入口處壓力，有很多外部條件。
